以石英晶体材料作为敏感单元,感知压力变换的高精度压力传感器。
RPS01系列石英绝压压力芯体基于石英谐振原理:以石英基膜作为感压元件,当外界输入压力时,引起石英基膜发生应变,导致与感压膜刚性连接的石英振梁的谐振频率发生变化,从而实现压力测量。外配激振电路,即可将输入的压力转换为频率输出。
指标名称 | 参数 |
---|---|
压力量程 | 101kPa/110kPa/200kPa/500kPa/1.6MPa/3.6Mpa |
最大过压 | 1.5FS |
全温不确定度 | 0.05%FS |
重复性 | 0.05%FS |
非线性 | 0.05%FS |
迟滞 | 0.05%FS |
长期稳定性 | 0.05%FS |
工作温度范围 | -55~125℃ |
重量 | <10g |
输出压力频率信号 F1 | 110kHz~140kHz |
输出压力频率信号 F2 | 10kHz~140kHz |
晨穹石英压力芯体的特点:与金属基和陶瓷基压力传感器相比,具有体积小、集成度高的优点;
与硅基压力传感器相比,具有温漂系数小、稳定性高的优势。
晨穹石英压力芯体的研发背景:100%自主知识产权;国内首家实现了批量化生产;突破高端压力传感器卡脖子瓶颈。
RPS01系列石英绝压压力芯体:广泛应用于气压高度表、飞行器大气数据系统、液位测量、压力变送器、流量测量、工业控制等领域。
2024-08-18T13:45:57
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